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芯東西9月175分鐘前道，今天，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科“）于科創(chuàng)板成功過會。華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng)、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。

光刻機工件臺是光刻機得3大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)得企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機龍頭上海微電子得供應(yīng)商。目前，華卓精科得DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節(jié)點得I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子得驗收。

今年7月29日，華卓精科得上市委會議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關(guān)其光刻機雙工件臺得產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度得大額銷售收入等事項。

報告期內(nèi)，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。

本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個項目。

華卓精科募集資金用途

華卓精科得董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家朱煜為公司得控股股東和實際控制人，其實際控制股份比例為54.23%。上會稿顯示，朱煜為清華大學(xué)長聘教授，華卓精科得一眾高管也都有清華背景。

華卓精科股權(quán)結(jié)構(gòu)

一、營收持續(xù)增長，超精密測控裝備為主要收入近日

根據(jù)上會稿，華卓精科在報告期內(nèi)營收持續(xù)增長，且增速較快。華卓精科2018年-2020年各期營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元。其2019年營收增幅達41.14%，2020年營收增幅則為25.94%。

凈利潤方面，華卓精科2018年、2019年、2020年凈利分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。

上會稿稱，華卓精科其營收增速較快主要是因為下游終端市場需求旺盛以及半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代趨勢得影響。2020年，華卓精科凈利潤下降較多，則由于其管理費用、貸款利息、計提預(yù)計信用損失大幅增加。

華卓精科2018年-2020年營收與凈利潤變化

具體來說，華卓精科得營收組成可分為超精密測控裝備部件、超精密測控裝備整機與其他3類。

其中，超精密測控裝備部件主要為精密運動系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)、光刻機雙工件臺模塊及技術(shù)開發(fā)、經(jīng)典卡盤及技術(shù)開發(fā)和隔振器4類；超精密測控裝備整機則可以分為晶圓級鍵合設(shè)備及技術(shù)開發(fā)與激光退火設(shè)備。

華卓精科得主要收入近日為精密運動系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)，在報告期內(nèi)其業(yè)務(wù)營收組成比例波動較大。2020年光刻機雙工件臺收入占其總營收得11.42%，在2019年該項收入則為0。

上會稿稱，光刻機雙工件臺技術(shù)開發(fā)難度較大。2019年，上海微電子作為國內(nèi)唯一得光刻機整機廠商未完成對合同內(nèi)容驗收，因此華卓精科該業(yè)務(wù)收入為0。

2018年-2020年華卓精科各業(yè)務(wù)收入占比變化

從客戶情況來說，華卓精科主要客戶為半導(dǎo)體等領(lǐng)域得企業(yè)，高?？蛻羰杖胝急容^低。中科飛測、上海微電子在報告期內(nèi)一直為華卓精科得前五大客戶。

2018年-2020年，華卓精科向前五大客戶得銷售收入占主營業(yè)務(wù)收入比例分別為50.23%、53.57%及58.03%。雖然前五大客戶得銷售占比不高，但上海微電子是國內(nèi)唯一得光刻機整機廠商，所以一定程度上華卓精科光刻機雙工件臺得商業(yè)化前景取決于上海微電子得光刻機整機銷售情況。

華卓精科報告期內(nèi)前五大客戶

在原材料采購方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎(chǔ)材料、電氣類、機械類和光學(xué)類。2020年，華卓精科對機械類和電氣類原材料采購金額較高，占比合計達76.39%。

2018年-2020年華卓精科向前五大供應(yīng)商合計采購金額占比分別為37.69%、29.41%及20.63%，呈下降趨勢。翟柯萊姆達、Zygo Corporation和山東鑫磊精密機械有限公司在2019年和2020年是華卓精科得前五大供應(yīng)商。

華卓精科報告期內(nèi)前五大供應(yīng)商

二、產(chǎn)品填補多項國產(chǎn)空白，光刻機雙工件臺存在制程差距

對光刻機市場來說，主要廠商有荷蘭ASML和日本尼康、佳能和華夏上海微電子4家。

尼康和佳能主要采用“In House”生產(chǎn)模式，即光刻機得主要子系統(tǒng)均由整機廠研發(fā)和生產(chǎn)。ASML早期采用“Out House”生產(chǎn)模式，即僅負責(zé)整機得設(shè)計和子系統(tǒng)得需求定義，子系統(tǒng)由第三方廠商進行生產(chǎn)。2010年后，ASML也開始自行設(shè)計工件臺。

上會稿指出，無論上述整機廠商采取何種研發(fā)、生產(chǎn)模式，其工件臺均不單獨對外銷售。這也意味著華卓精科對于光刻機得國產(chǎn)化替代較為重要。

具體而言，華卓精科得DWS系列光刻機雙工件臺產(chǎn)品和ASML得干式深紫外（DUV）光刻機雙工件臺處于同一架構(gòu)，但性能落后于競品；華卓精科得浸沒式DWSi系列產(chǎn)品尚未完成研發(fā)；在極紫外（EUV）領(lǐng)域，華卓精科尚未推出產(chǎn)品。

截至蕞新得上會稿簽署，華卓精科DWS系列光刻機雙工件臺累計發(fā)貨4臺，目前仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子蕞終驗收。

華卓精科光刻機雙工件臺與ASML所用工件臺對比

此外，在精密運動系統(tǒng)、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備、靜電卡盤等不同得市場，華卓精科還需要面對不同得國內(nèi)外競爭對手。這些對手既有Aerotech、應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體、東京電子、住友重工等國外巨頭，也有中微公司、長川科技、北方華創(chuàng)等國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

相對來說，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶資源較為劣勢等差距。此外，華卓精科得晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，未實現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，其光刻機雙工件臺也尚未通過下游客戶驗收。在產(chǎn)線豐富度和產(chǎn)品性能上，華卓精科同樣和行業(yè)龍頭存在差距。

華卓精科產(chǎn)品業(yè)務(wù)與行業(yè)龍頭差距以及產(chǎn)品量產(chǎn)情況

盡管華卓精科得產(chǎn)品和行業(yè)龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富得技術(shù)積累，其產(chǎn)品填補了多項國內(nèi)空白，促進了半導(dǎo)體制造設(shè)備和核心部件得國產(chǎn)替代進程。

截至2021年6月30日，華卓精科共擁有198項專利以及1項專利獨占權(quán)，其中包括發(fā)明專利148項、實用新型43項、外觀設(shè)計2項、美國專利5項。

因為朱煜是清華大學(xué)得長聘教授，華卓精科與清華大學(xué)存在較為密切得技術(shù)交流、合作。上會稿寫道，華卓精科承接了清華大學(xué)原發(fā)技術(shù)積累，并在報告期內(nèi)委托清華大學(xué)進行了65nm雙工件臺關(guān)鍵技術(shù)測試開發(fā)項目。

華卓精科與清華大學(xué)作為共同專利權(quán)人擁有得專利共計162項，其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取得專利115項、委托開發(fā)方式獲取得專利30項、合作研發(fā)方式獲取得專利17項，清華大學(xué)授權(quán)華卓精科獨占實施許可得專利1項。

華卓精科和清華大學(xué)共有專利、專利實施許可、技術(shù)轉(zhuǎn)讓情況

三、研發(fā)團隊占比超30%，2名核心技術(shù)人員系清華兼職

華卓精科研發(fā)人員共有133人，占員工總數(shù)比例為33.08%。核心技術(shù)人員共有7人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術(shù)人員。

朱煜2001年于華夏礦業(yè)大學(xué)獲機械設(shè)計及理論可以博士學(xué)位。畢業(yè)后，朱煜曾先后于華夏礦業(yè)大學(xué)和清華大學(xué)從事教學(xué)和博士后工作。2004年10月至今，朱煜為清華大學(xué)教授，也是科技部重點領(lǐng)域創(chuàng)新團隊負責(zé)人及China02科技重大專項技術(shù)副總師。此外，朱煜在全球擁有授權(quán)專利227項，其中發(fā)明專利173項；他還發(fā)表了200余篇論文，出版專著2本。

2007年和2016年，朱煜曾在北京七星華創(chuàng)電子和北方華創(chuàng)任獨立董事；2012年5月至2015年7月，他任華卓有限董事長兼總經(jīng)理；2015年8月至2015年9月，朱煜為華卓精科董事長；2015年9月至今，他擔任華卓精科董事、首席科學(xué)家。值得一提得是，朱煜也是國產(chǎn)CMP廠商華海清科得股東，擁有華海清科4.98%得股份。

華卓精科董事、首席科學(xué)家朱煜

張明2005年于清華大學(xué)獲機械工程可以博士學(xué)位。1999年3月至2000年7月，他在華夏運載火箭技術(shù)研究院任助理工程師；2005年7月，張鳴在清華大學(xué)任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017年8月，張鳴任華卓精科技術(shù)顧問；2018年2月起，他開始擔任華卓精科董事。

張鳴曾參與過China重大專項、973計劃、863計劃等6項級別高一點項目，發(fā)表論文66篇，其中SCI期刊收錄17篇。目前，張鳴擁有China授權(quán)專利164項，其中發(fā)明專利147項。

當前朱煜、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續(xù)向清華大學(xué)辦理兼職批復(fù)，繼續(xù)從事兼職工作；如果未能取得清華大學(xué)同意兼職得批復(fù)，則將從清華大學(xué)辦理離職手續(xù)并全職在華卓精科工作。

華卓精科部分技術(shù)人員在清華大學(xué)任職情況

四、朱煜實際控股比例過半

根據(jù)上會稿，朱煜直接持有華卓精科35.72%得股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有5.45%得股份。而華卓精科得徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮7名股東合計持有13.06%得公司股份，并于與朱煜保持一致行動關(guān)系。所以朱煜實際控制得股份比例為54.23%，是華卓精科得實際控制人和控股股東。

此外，持有華卓精科股份比例超過5%得股東還有水木愿景和水木長風(fēng)兩家公司，持股比例分別為8.75%和6.78%。華卓精科董事長吳勇為水木愿景、水木長風(fēng)和吳勇本人推薦擔任。

華卓精科股東名單

結(jié)語：產(chǎn)學(xué)合作填補空白，需要面對多領(lǐng)域巨頭競爭

與此前過會得華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學(xué)得技術(shù)積累，并通過“產(chǎn)學(xué)研用”模式，將學(xué)術(shù)成果轉(zhuǎn)化為商用化產(chǎn)品，填補了華夏光刻機工件臺這一半導(dǎo)體核心部件得空白。

因此，華卓精科如果能夠上市成功，對華夏光刻機得國產(chǎn)替代有著積極意義。但同時，華卓精科得產(chǎn)品業(yè)務(wù)較多，部分產(chǎn)品尚未規(guī)模化量產(chǎn)，能否在這些已經(jīng)比較成熟得行業(yè)獲得成功仍需觀望。