生產(chǎn)過程中，PERC電池鈍化膜損傷及各種EL缺陷等造成成品率下降頗為嚴(yán)重。感謝通過對PERC電池片生產(chǎn)工藝、設(shè)備、生產(chǎn)管理上探究一定優(yōu)化解決方案。

1PERC電池片與常規(guī)電池片

常規(guī)電池采用常規(guī)背場電池(BSF)結(jié)構(gòu)，具有先天局限性，隨電池效率提高，局限性越發(fā)明顯。應(yīng)用于BSF電池背場金屬鋁薄膜不能降低背面復(fù)合速度，如降至200cm/s以下。達(dá)到金屬鋁背層紅外輻射光僅60%-70%能反射回去。

PERC電池采用PERC技術(shù)需在常規(guī)背電場(BSF)技術(shù)基礎(chǔ)上增加背面鈍化解決方案。在具體實施中，需要沉積一層背面鈍化膜，然后在這層膜上開槽實現(xiàn)背面接觸。通過在電池背部附上介質(zhì)鈍化層，可減少光電損失，提高電池效率。

2PERC電池EL缺陷分析

2.1 局部劃傷

在PERC電池制備工程中，難免存在局部劃傷痕跡，對于背表面非常好得鈍化膜來說，劃傷痕跡使得背表面復(fù)合速率局部下降，這些劃痕可能不影響整體效率，但從EL照片看會出現(xiàn)劃痕陰影，歸為次品，有些企業(yè)這種因劃傷造成得EL次品會達(dá)20%～30%。劃痕產(chǎn)生原因與在工藝過程中蹭片，工人操作手法，操作工序設(shè)備等有關(guān)，較難避免。

2.2 工藝污染

在PERC電池制備工程中，由于電池片清洗不干凈、吸盤接觸、導(dǎo)條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵沾污等等。

3PERC電池EL缺陷成因分析

3.1 PERC電池工藝流程及相關(guān)設(shè)備

PERC電池主要工藝流程包括以下幾個方面:

一是去切割損傷和制絨生成金絨面，在此工藝環(huán)節(jié)所用到得主要設(shè)備為捷佳創(chuàng)單晶槽式制絨;

二是擴(kuò)散生成PN結(jié)，在此工藝中所涉及設(shè)備為Tempress擴(kuò)散爐、R2D自動化、捷佳創(chuàng)低壓擴(kuò)散爐;

三是邊緣刻蝕和去磷硅玻璃，此環(huán)節(jié)需要儀器SCHM發(fā)布者會員賬號刻蝕機(jī)、SCHM發(fā)布者會員賬號自動動化儀器;

四是背鈍化在硅片背面沉積三氧化二鋁膜和氮化硅膜，此環(huán)節(jié)需儀器MeyerBurger得一體機(jī)式鍍膜機(jī)、羅博特科自動化儀器;

五是PECVD正面沉積氮化硅膜，在該工藝流程中所使用到主要儀器包括CT管式鍍膜機(jī)、Baumann自動化;

六是背面激光開孔實現(xiàn)背面漿料與硅材料局部接觸，該工藝用到為帝爾激光儀;

七是絲網(wǎng)印刷，此工藝采用ASYS印刷機(jī);

八是烘干、燒結(jié)、光照加退火工藝，此工藝用到Despatch燒結(jié)退火爐;九是測試分析，主要儀器為ASYS分選機(jī)、BERGER測試機(jī)。

3.2造成劃傷、污染主要成因

通過實踐操作分析可知，造成PERC電池劃傷、污染原因：

制絨工序:去損傷不完全、清洗殘留、人員接觸、烘干污染、粉塵污染、油污等;插片、

倒片工序:皮帶接觸、導(dǎo)條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染等;

擴(kuò)散工序:吸片、舟卡槽及硅片間摩擦;刻蝕工序:滾輪劃傷、清洗殘留、皮帶接觸、導(dǎo)條接觸、花籃接觸、人員接觸、烘干污染、粉塵污染、油污等;

背鈍化工序:吸盤接觸、皮帶接觸、導(dǎo)條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染等;

PECVD工序:吸盤接觸、皮帶接觸、導(dǎo)條接觸、花籃接觸、舟片接觸、人員接觸、粉塵污染等;

激光開孔工序:吸盤接觸、皮帶接觸、導(dǎo)條接觸、花籃接觸、粉塵污染、人員接觸等;

絲網(wǎng)印刷:皮帶接觸、導(dǎo)條接觸、花籃接觸、人員接觸、粉塵污染、漿料污染等;

烘干、燒結(jié)、退火工序:人員接觸、粉塵污染、爐帶污染、油污等;測試分析:吸盤接觸、皮帶接觸、導(dǎo)條接觸、人員接觸、粉塵污染等?？傊?，造成劃傷、污染主要成因可歸結(jié)為工藝因素、設(shè)備因素和人員因素。

4降低PERC電池EL缺陷措施探究

針對PERC電池EL缺陷，需要針對具體問題分析，并采取針對性措施。

1.去損傷不完全缺陷，嚴(yán)格控制原始硅片檢驗工作，減少嚴(yán)重缺陷片流入;優(yōu)化藥液配比及工藝時間，去除硅片損傷。

2.針對滾輪劃傷缺陷，定期檢查錐形齒輪磨損情況、上下滾輪位置、滾輪活動部件松緊程度，如有異常及時維修維護(hù);定期檢查、優(yōu)化導(dǎo)向輪部件位置。

3.在殘留清洗方面:優(yōu)化清洗槽噴淋流量;定期清洗槽濾芯。

4.針對皮帶接觸方面:刻蝕下料加裝翻片器，減少硅片背面與皮帶接觸;定期檢查硅片進(jìn)盒位置、感應(yīng)器位置，減少皮帶與硅片摩擦;定期清潔、更好皮帶，減少皮帶硅粉、漿料沾污。

5.導(dǎo)條接觸:優(yōu)化導(dǎo)體位置，減少硅片接觸頻率;定期清潔，減少導(dǎo)體硅粉、漿料沾污;定期更換耐磨膠帶，減少與硅片摩擦。

6.花籃接觸:定期清洗花籃，減少花籃沾污;定期優(yōu)化自動化位置，減少硅片與花籃齒摩擦;定期檢查花籃尺寸，及時清退變形花籃。

7.吸盤接觸:定期清潔吸盤，減少吸盤沾污;定期優(yōu)化自動化位置，減少吸盤與硅片摩擦。

8.舟片接觸:定期清洗石墨舟、框，減少吸盤沾污;定期優(yōu)化自動化位置，減少石墨舟、框與硅片摩擦。

9.人員接觸:加強(qiáng)產(chǎn)線管理，避免一切接觸片、沾污片流入下道工序;加強(qiáng)操作管理，減少人員搬運、檢查時造成得硅片劃傷、沾污。

10.烘干污染:是定期清理烘干區(qū)域碎片，減少顆粉塵污染;定期更換濾芯，清潔管道、風(fēng)刀、滾輪等。

11.爐帶污染:定期清洗爐帶、減少路帶油污;定期檢查路帶變形情況，隨時對其調(diào)整、更換。

12.粉塵污染:刻蝕后硅片運輸背鈍化工序時采用密封運輸，減少運輸過程中硅片污染;尚未進(jìn)行背鈍化硅片，必須存儲至恒溫、正壓氮氣密封柜內(nèi)，且時間不宜過長;一體式鍍膜機(jī)，保養(yǎng)要徹底、完全，避免腔室內(nèi)粉塵滯留;加強(qiáng)車間管理，降低車間空氣粉塵顆粒，確保潔凈度穩(wěn)定、達(dá)標(biāo)。

5結(jié)論

為降低PERC電池鈍化膜損傷及各種EL缺陷出現(xiàn)，PERC電池生產(chǎn)過程中必須從細(xì)節(jié)入手，通過制定詳細(xì)、完善、科學(xué)工藝方案、設(shè)備管理、保養(yǎng)制度，以及對人員操作、工藝制成得細(xì)致化、嚴(yán)格化管理、高效執(zhí)行力，蕞終確保PERC電池片生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境規(guī)范化、穩(wěn)定化、潔凈化得以實現(xiàn)。

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