無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。

一、無塵烘箱特點：

1. 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100

2. 采用智能控制系統(tǒng),可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，操作方便；

3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

4.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避

免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；

5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門

(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)

6. 完善的保護措施，漏電斷路器/超溫保護/欠相保護/馬達過載電流保護/機臺異常蜂鳴器警示，安全可靠！

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